エムティ精工株式会社
企業広報部
NMT 半導体真空装置用精密軸受、真空対応低アウトガス軸受、ウエハ搬送ロボット耐高温精密軸受、クリーンルーム向け特注対応 在庫保有
1. 半導体真空装置軸受の主な課題
半導体製造工程は超高真空クリーンチャンバーを基盤とし、ウエハエッチング、薄膜成膜、イオン注入、真空搬送などの工程で内部清浄度に厳格な基準が設けられています。一般軸受に使用される汎用グリスは高真空下で揮発を継続し、汚染物とパーティクルがウエハに付着し、チップ歩留まりの低下を引き起こします。
真空チャンバー内は高低温が交互に発生し、通常の潤滑剤は早期に機能喪失し摩擦トルクが上昇。ウエハ搬送ロボットの位置ずれが発生し、ウエハ破損リスクが高まります。クリーンルームでは粉塵発生が制限され、普通鋼製軸受は錆摩耗粉を発生しチャンバーを汚染します。
ウエハ搬送機構は頻繁な起動停止を伴い、長期的な低振動・高繰返し位置決め精度が求められます。輸入真空軸受は納期が長く単価も高額です。装置国産化や新型真空装置開発時、特殊素材・固体コーティング・超低アウトガス仕様の軸受が必要となるケースが多く、標準品の選択肢不足が開発の障害となります。
一部チャンバー内に腐食性プロセスガスが存在する場合、一般軸受輪は腐食摩耗し短期稼働で騒音や回転渋りが発生。計画外停止は生産ライン全体の停止と多大な損失につながります。
2. NMT 半導体真空装置用精密軸受の核心強み
日本 NMT は半導体真空・クリーンルーム過酷工况向け専用精密軸受を開発。低アウトガス、低パーティクル、耐熱性、耐食性の 4 項目を軸に素材・製法を最適化し、ウエハ製造各種真空装置の長期安定稼働を支えます。
低アウトガス素材システム、超高真空環境に適応
超低放出ステンレス基材に真空専用固体コーティングまたは低揮発真空グリスを組合せ、高温真空下の有機物揮発を抑制。チャンバー内汚染物を低減しウエハパーティクル不良を防止します。
低発塵製造プロセス、クリーンルーム基準に適合
軌道を超精密鏡面ラッピング加工、バリや加工残渣を完全除去。保持器構造を最適化し回転時の発塵量を抑え、Class1～Class10 クリーンチャンバーでの運用に対応します。
広温度域で安定回転、チャンバー温度変動に追従
常温～中高温域で連続稼働可能、温度帯に応じ潤滑仕様を選定。高低温サイクル下で摩擦トルク変動が小さく、ウエハ搬送ロボットの長時間位置安定性を確保します。
多彩な素材ラインナップ、腐食環境に対応
ステンレス軸受、ハイブリッドセラミック軸受、全セラミック軸受を選択可能。腐食性プロセスガス環境で耐食性を向上させ、チャンバー内伝動部品の耐用年数を延長します。
潤滑仕様を柔軟に選定可能
二硫化モリブデン固体コーティング、真空長寿命グリス、ドライ無油仕様など、高真空・超高真空・常圧クリーン環境など工况に合わせて選べます。
全方位精密特注サービス
隙間調整、特殊寸法、隔離型シール、拡散防止プレート、表面不動態化処理など特注に対応、各種真空チャンバー狭小スペース・特殊構造ロボットに適合します。
汎用仕様在庫保有、半導体装置国産化を支援
ウエハ搬送アーム、真空ゲートバルブ、回転ステージ用軸受を常時在庫。取付寸法が輸入品と互換性があり試作調整期間を短縮、予備品調達コストを抑制します。
3. 主な適用シーン
ウエハ真空搬送ロボット：大気・真空チャンバー間搬送アーム、プリアライナ回転ユニット、シリコン・SiC ウエハ搬送機構。
薄膜成膜・エッチング装置：PVD、CVD、ドライエッチングチャンバー内部回転機構、サンプルステージ支持軸受。
イオン注入・拡散プロセス装置：高温真空チャンバー内ワーク回転軸、伝動支持軸受。
真空ゲートバルブ、昇降回転ステージ：チャンバーゲート駆動機構、真空サンプル台、光学検査雲台回転支持。
半導体測定検査装置：プローバー、外観検査機クリーンルーム精密回転モジュール。
国産真空プロセス試作機・研究用実験チャンバー：大学・研究機関真空実験装置、少量特殊工况向け特注軸受。
4. 工况選定ガイド
超高真空チャンバーで有機揮発物を厳禁：固体コーティングドライ軸受を優先；
中真空環境で連続運転：低アウトガス真空専用グリス入り精密軸受を採用；
チャンバー内に腐食性ガスが存在：ハイブリッドセラミックまたは全ステンレス耐食軸受を選定；
真空無しクリーン大気環境で発塵規制が厳しい：鏡面ラッピングステンレス軸受＋低発塵潤滑剤；
長時間高温稼働：耐熱基材＋高温安定真空潤滑システムを組合せ；
新装置開発で標準寸法・素材が適合しない：図面を提出し個別特注；
ライン予備品交換・装置国産化案件：在庫保有の標準半導体真空軸受を優先。
5. 導入効果まとめ
半導体チップ製造はチャンバー清浄度に極めて敏感で、一般産業用軸受は真空チャンバー汚染を誘発し、ウエハ廃棄や生産損失に直結します。汎用軸受は低アウトガス、低発塵、耐熱、高精度を同時に満足できず、先端プロセス装置の要求に適合しません。
NMT 半導体真空精密軸受は低放出素材、超精密加工、複数種真空潤滑オプションを活用し、各種ウエハ真空プロセス装置の伝動ニーズに対応します。素材と特注体制が量産機と研究試作機の両方をカバー、在庫品は輸入軸受を直接置換可能です。半導体装置メーカーは装置稼働安定性向上、ウエハ汚染不良低減、チャンバー伝動部保守周期延長、装置国産化加速、長期運用・予備品費用削減を実現できます。